第1624章 超分辨率光刻(2/3)

远处的成像屏。“不不不……”常浩南摇头，“后面这个是成像平板，我说的另一块透镜，实际上是指这个系统中的气体。”栾文杰似乎有点明白了：“所以刚才的光，是先经过透镜照射到这块平板上成像，然后平板上的像……再被那个成像屏接收并显示出来？”“正是如此。”常浩南点头赞许栾文杰的敏锐观察，“当然那个成像屏也可以阻挡光路，以免高强激光束射出测试范围，对其它设备或者人造成影响。”栾文杰下意识伸出手，想要在透镜和平板旁边比划一下。但旋即想起这东西恐怕不能乱碰，于是又缩了回去问道：“那为什么要把成像平板紧贴着透镜放？”“实际上是有缝隙的，大约1.5微米。”常浩南用手势比划了一个极其微小的距离，“只是肉眼难以分辨罢了。”他戴上特制的防静电手套，极其小心地取下了那块位于透镜和平板之间的核心平板——那才是真正的成像元件。然后，开始回答对方最开始的问题。“衍射极限之所以存在，根本原因在于传统透镜无法将光聚焦到一个小于半波长的区域。”常浩南将那块特殊的平板捏手中，展示到栾文杰面前：“但我们的思路是，让光线在一组折射率绝对值相等但符号相反的材料界面上发生‘负折射’。”他指向透镜和手中的平板：“具体说，就是让从目标物体上发散出来的光线，在我们这块由负折射率材料制成的平板上实现聚焦，理论上就能绕过衍射极限的束缚，真正实现完美成像。”说话间，目光扫过屏幕上那不太清晰的173nm分辨率靶标图案。于是又补充道：“当然，实际操作中，材料的虚部损耗和界面阻抗不匹配的问题会引入损耗，影响倏逝波的传输距离和最终的分辨力，所以还做不到理论上的完美成像……但把有效成像分辨率压缩到衍射极限的一半左右，就像刚才看到的那样，还是非常轻松的。”“如果使用频谱宽度更窄、更纯净的光源，结合材料工艺的进一步优化，大概还能进一步推到四分之一。”栾文杰站在原地感觉大脑里像是经历了一场信息风暴。常浩南的解释每一个字他都听见了，但那些术语——“负折射”、“倏逝波”、“阻抗匹配”、“虚部损耗”——组合在一起，却形成了一个他难以在短时间内完全理解和消化的全新物理图景。那种感觉，不是简单的“不懂”，而是认知框架被强行拉伸、甚至局部撕裂的冲击感。这比单